第154章 双台之舞，极光之源 (第1/2页)

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“神光”实验室的无尘车间里，气氛凝重得仿佛能滴出水来。

一张巨大的工程图纸铺在桌面上，上面密密麻麻地画满了复杂的机械结构和运动轨迹。

范·德·维尔指着图纸中央，眉头紧锁：“李，你看这里。双工件台的核心逻辑，就是这两个平台的高速交换。一个在曝光位，一个在预处理位。它们需要在短短几秒钟内完成位置互换，不仅速度要快，而且精度必须控制在纳米级！”

他顿了顿，语气中带着一丝无奈：“在asml，我们尝试过用高精度的气浮导轨，但机械结构的惯性和摩擦力始终是个大问题。一旦速度过快，微小的震动就会毁掉整个曝光过程。这就像是让两头大象在钢丝绳上跳舞，还要保证不碰到对方，太难了。”

李晓宇看着图纸，沉思良久。他知道，这是光刻机从“能用”到“高产”的关键一跃。

如果沿用传统的机械导轨，哪怕做到极致，也依然无法摆脱物理摩擦的桎梏。

“既然地上跑不快，那我们就让它……飞起来。”

李晓宇忽然抬起头，眼中闪烁着异样的光芒。

“范先生，如果我们将导轨彻底扔掉呢？”

他拿起一支笔，在图纸上画了一个悬浮的方块。

“平面磁悬浮驱动技术（planar

magic

levitation）！”

“磁悬浮？”范·德·维尔瞪大了眼睛，仿佛在听天方夜谭，“你是说像磁悬浮列车那样？但这可是在纳米精度的光刻机里啊！电磁场的波动怎么控制？热量怎么散发？”

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